半導體專用控溫設(shè)備是一種用于半導體芯片測試和制造過程中的溫度控制設(shè)備,可用于控制溫度并確保測試結(jié)果的準確性。
半導體恒溫系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器(部分設(shè)備)、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清顯示屏,設(shè)有多項保護功能,確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件要求。
晶圓測試國產(chǎn)替代溫控系統(tǒng)晶圓生產(chǎn)完成后,需要對其進行各種參數(shù)的檢測,在檢測的過程中,需要在不同溫度下進行測試,晶圓測試用溫控設(shè)備(晶圓測試溫控系統(tǒng))是高精度,高分辨率,高穩(wěn)定性的控制設(shè)備。
高低溫冷熱臺控溫設(shè)備主要應用于高壓反應釜、中試生產(chǎn)不銹鋼反應釜、雙層玻璃反應釜、夾套反應釜、微通道反應器、反應裝置、組合化學等冷熱源動態(tài)恒溫控制以及制藥行業(yè)中的低溫蒸餾、精餾、萃取等設(shè)備中。