半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備
簡要描述:半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。
- 產(chǎn)品型號(hào):
- 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間:2024-11-09
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半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù),并采用變頻控制及兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備特點(diǎn):
變頻控制,智能PID控制
預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制,高效節(jié)能
兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制
普泰克(proteco)制冷設(shè)備技術(shù)集合了多位生物制藥領(lǐng)域、機(jī)械設(shè)計(jì)、軟件自控的專業(yè)人才,依托于浙江大學(xué)制冷研究院的技術(shù)團(tuán)隊(duì)支持,致力于高低溫設(shè)備的研究、開發(fā)、制造、銷售。
我司借鑒歐美技術(shù),以模塊化部件為平臺(tái),衍生出多款高低溫設(shè)備產(chǎn)品,提出:“個(gè)性化溫度控制解決方案"的理念!嚴(yán)格按照客戶要求進(jìn)行規(guī)劃和制造,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國內(nèi)外科學(xué)研究和工藝開發(fā)、新能源汽車、生物技術(shù)、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導(dǎo)體、醫(yī)療技術(shù)等行業(yè)。
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